Vakuumske komponente

Toplinska obrada uglavnom uključuje procese oksidacije, difuzije i žarenja.Oksidacija je aditivni proces u kojem se silicijumske oblatne stavljaju u peć na visokoj temperaturi i dodaje se kiseonik da reaguje sa njima da bi se formirao silicijum na površini vafla.Difuzija je premještanje tvari iz područja visoke koncentracije u područje niske koncentracije kroz molekularno termalno kretanje, a proces difuzije se može koristiti za dopiranje specifičnih doping tvari u silicijumskoj podlozi, čime se mijenja provodljivost poluvodiča.